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產品名稱:刻蝕機

產品型號:ET20

產品報價:

產品特點:刻蝕機
適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設備規格
全自動擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風、排廢系統、提高設備的安全性

免費咨詢:021-54338590

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ET20刻蝕機的詳細資料:

刻蝕機

 刻蝕機是一種用于電子與通信技術領域的工藝試驗儀器,于2012年5月14日啟用。

 

產品介紹

適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設備規格
全自動擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風、排廢系統、提高設備的安全性

產品參數

旋轉速度范圍:0-3000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
轉速精度:±1rpm
刻蝕管路:≤2路(扇形或錐形噴嘴)
設備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

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