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公司名稱:上海添時科學儀器有限公司
聯系人:范先生
固話:021-54338590
手機:18016035557
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全自動清洗機 適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝 6寸以下wafer全自動清洗工藝處理 適合產能要求較高的批量產線 可選配MES協議轉換模塊《查看更多》
清洗機 適用于5、6英寸Mask清洗工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 自動清洗多種規格MASK掩膜光罩 可接受不同規格MASK清洗定制《查看更多》
半柜式/全柜式清洗機 適合于8英寸及以下晶圓的單片清洗工藝 根據客戶要求可選配高壓、兆聲、二流體等多種清洗工藝 不銹鋼半柜式、柜式柜體,觸摸式人機交互界面 耐腐蝕透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統 可配置清洗液、氮氣溫控功能 可配置增壓泵高壓清洗 高精度清洗臂,可靈活設置清洗工藝《查看更多》
清洗機 適用于5、6英寸Mask清洗工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 自動清洗多種規格MASK掩膜光罩 可接受不同規格MASK清洗定制《查看更多》
全自動噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝 全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能 供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調 觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控《查看更多》
全自動/軌道式去膠剝離機 適用于8英寸及以下規格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝) 不銹鋼柜體,觸摸式人機交互界面 耐腐蝕透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統 8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動去膠剝離工藝處理 適合聲表濾波器(SAW)行業產能要求適中的批量產線 可選配MES協議轉換模塊《查看更多》
刻蝕機 適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝 可選耐腐蝕PP柜體 可按客戶需求定制設備規格 全自動擺臂、可配備多路刻蝕液 觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態 可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能 專用排風、排廢系統、提高設備的安全性《查看更多》
全自動標準8寸勻膠顯影機 適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝 最大設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元 6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理 整機適合產能要求較高的批量產線 根據客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊 可選配MES協議轉換模塊《查看更多》
全自動標準2-6寸勻膠顯影機 適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝 最大設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元 6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理 整機適合產能要求較高的批量產線 根據客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊 可選配MES協議轉換模塊《查看更多》
軌道式勻膠顯影機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝 最大設備配置:2套勻膠(顯影)單元、4套熱(冷)板單元 可選8寸以下多種wafer尺寸全自動勻膠/顯影,烘烤工藝處理 整機性價比高,適合產能要求適中的批量產線 根據客戶工藝需求可加裝等離子風棒等模塊 可選配MES協議轉換模塊《查看更多》
超大型勻膠機 適用于直徑450mm-2000mm的非規則重載基底勻膠工藝 可根據客戶基片規格及工藝定制設備 不銹鋼全柜式柜體,多級安全系統 透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統 可配置自動膠臂滴膠功能 觸摸式人機交互界面,可靈活設置100組工藝配方《查看更多》
大型勻膠/顯影機 適用于直徑450mm-800mm的非規則重載基底勻膠工藝 可根據客戶基片規格及工藝定制設備 不銹鋼全柜式柜體,多級安全系統 透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統 可配置自動膠臂滴膠功能 觸摸式人機交互界面,可靈活設置100組工藝配方《查看更多》
勻烤膠一體機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式 觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態 高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求 可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能 專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標 可選配置空氣凈化單元(FFU)《查看更多》
顯影機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 全自動顯影擺臂,可實現顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干 根據工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴 高精度伺服控制系統,性能穩定 升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺 根據工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能《查看更多》
噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝 全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能 供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調 觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控《查看更多》
玻璃制刀機 采用平衡斷裂法,確保制造出優秀的刀片 取出抽屜采用雙導軌結構,更方便、穩定、耐用 玻璃刀滾輪可自動鎖定、復位,有效降低操作失誤率 玻璃刀壓力可調,適配不同厚度的玻璃 玻璃條定位機構操作簡單,穩定可靠 刀肩大小調節方便,提高操作精度 配載劃痕長度快速切換裝置,操作便捷《查看更多》
超薄切片機 全新設計,切片運動采用直流無刷電機,提高運動穩定性 人性化設計,配載退刀流程,減少樣品損壞度 數字化操作界面,一鍵回程按鈕,操作便捷 設備適配多種寬度刀具,適配各項工藝操作 配載分離式控制盒槽孔,保證切片質量 外接式體式顯微鏡,可實時記錄實驗步驟《查看更多》
金屬圓片沖孔儀 全新設計的TEM沖樣器,臥式工作方式,簡單輕松,無應力變形和明顯毛刺,性能可靠耐用無需維護 沖頭采用高品質模具鎢鋼,數控磨床精密加工成型,同軸度高,表面光潔,配合間隙可控,減少毛刺的產生 沖頭經過熱處理進一步提高表面硬度,可實現萬次以上沖切,免維護 沖樣器基座,采用鋁合金加工,輕便靈巧 杠桿式用力方式,力道適中,壓合輕松,有適當回彈力 自動卸料機構,沖切后樣品自動頂出落入收集盒,拿《查看更多》
金屬圓片沖孔儀 立式沖切,省力美觀 沖頭采用普通鎢鋼,經久耐用 基座采用鋁合金機加而成,輕便穩當 杠桿式用力方式,力道適中,壓合輕松,有適當回彈力 標準沖切樣品直徑p3mm,根據需要可定制不同尺寸《查看更多》
基本型帶電解拋光功能雙噴儀 采用加液氮制冷方式,控制盒與電解槽分開控制,拋光破孔自動報警 拋光電壓、電流值液晶數顯,拋光電壓、感光值及流速旋鈕可調 磁力涌流式噴射拋光,進口pvc材料整體成型加工,無泄漏風險 可選配電解拋光噴嘴及夾子升級電解拋光功能,滿足EBSD樣品制備《查看更多》
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